本系統為純水製造之核心，透過高壓反滲透技術去除水中絕大部分的溶解鹽類與雜質。

RO System主機：設計產水流量達 ，系統水回收率達 75%。

• 主機配置：
  。前置過濾器： 於進入高壓泵前進行最終微粒攔截。
  。RO高壓泵 (一備一用)： 提供反滲透所需之足額操作壓力。
  。膜組與外殼： 採用 8”x160”FRP高耐壓膜殼，內裝高去鹽率RO膜。
• 控制與監測儀表：
  配備管路式流量計與線上數位電子流量計，精準掌握產水數據。
  。配置電動閥進行自動切換與程序控制。
  。配備 pH計 及 RO前後線上電導度計，即時調控並監測系統去鹽效。

負責將RO純水進行深度去離子與有機物精處理，以產出符合高規要求的超純水（DI水）。

• TOC UV設備：處理量 48GPM，採用波長 185nm 之紫外線燈管，有效分解水中微量總有機碳（TOC）。
• 混床設備 (2備2用)：內填高效混床樹脂。配備數位電子流量計與線上比阻抗計，確保供水阻抗符合標準。
• 濾芯式過濾器：攔截樹脂微粒與微細雜質。
  DI泵浦 (一備一用)： 採不鏽鋼（SS304）材質，提供後端用水點足夠之壓頭。
• DI純水桶配置：採用高潔淨 PE 內襯；頂蓋配置超音波液位控制器進行自動連鎖水位管理，並加裝空氣過濾器（呼吸器），防止桶內純水受到外界空氣二次污染。